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臭氧的制備方法有化學(xué)法、電解法、紫外線法、輻照法和無(wú)聲放電法等。水處理中應(yīng)用的多是無(wú)聲放電法，其生產(chǎn)臭氧的原理是在兩平行高壓電極之間隔以一層介電體(又稱(chēng)誘電體，通常是特種玻璃材料)并保持一定的放電間隙；通入15000～17500V高壓交流電后，在放電間隙形成均勻的藍(lán)紫色電暈放電，經(jīng)過(guò)凈化和干燥的空氣或氧氣通過(guò)放電間隙，氧分子受高能電子激發(fā)獲得能量，并相互發(fā)生碰撞聚合形成臭氧分子。生產(chǎn)1kg臭氧耗電約20～30kW。