通過實地調研,結合工程經(jīng)驗,采用比較分析的方法,就芯片生產(chǎn)廢水中典型的含氨廢水、含氟廢水、研磨廢水和酸堿廢水的處理分別給出了較優(yōu)的處理工藝流程,即濃氨吹脫—兩段沉淀—三級酸堿中和處理工藝,其處理效果較好,將含氟廢水與CMP 研磨廢水混合處理可節(jié)省投資。同時,介紹了設備選型中應注意的問題。
關鍵詞：芯片生產(chǎn)廢水，設備選型，含氟廢水
自2000 年國家“十五”規(guī)劃的行業(yè)鼓勵性政策出臺,中國芯片產(chǎn)業(yè)掀起一輪前所未有的投資熱潮,全球著名的芯片廠商,如德州儀器、英特爾、AMD等,紛紛在中國建立合資或獨資公司。然而關于芯片生產(chǎn)廢水排放的國家和地方標準尚未出臺。本文結合工程實例,通過調研分析得出最優(yōu)工藝流程,并指出設備選型中應注意的問題。具體參見http://www.yiban123.com更多相關技術文檔。
完整內容請見附件：芯片生產(chǎn)廢水處理工藝
