申請(qǐng)日2015.08.20
公開(公告)日2015.12.30
IPC分類號(hào)F17D1/08; B08B13/00; H01L21/67; F17D3/01
摘要
本發(fā)明涉及工業(yè)廢液的分類排放技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)及其應(yīng)用。該系統(tǒng)包括多組提供清洗液的供液管路和與每組的供液管路對(duì)應(yīng)的排放清洗廢液的排放管路，在每條的供液管路上設(shè)置有供液氣動(dòng)開關(guān)閥，在每條的排放管上設(shè)置有排放氣動(dòng)開關(guān)閥，系統(tǒng)還包括輸出開關(guān)信號(hào)的控制裝置、由控制裝置控制的供液電磁閥和由控制裝置控制的排放電磁閥，供液電磁閥連接各個(gè)的供液氣動(dòng)開關(guān)閥，排放電磁閥連接各個(gè)的排放氣動(dòng)開關(guān)閥，系統(tǒng)還包括多條廢液收集槽。通過本發(fā)明所提供的系統(tǒng)，可以對(duì)廢液的排放進(jìn)行切換，達(dá)到廢液的分類排放效果，降低廢液排放和回收的處理成本，提高回收化學(xué)品的品質(zhì)和回收量，并有利于環(huán)保。
權(quán)利要求書
1.一種晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，其特征在于：系統(tǒng)包括多條提供 清洗液的供液管路(1)和與每條所述的供液管路(1)一一對(duì)應(yīng)的排放清洗 廢液的排放管路(2)，在每條所述的供液管路(1)上設(shè)置有供液氣動(dòng)開關(guān) 閥(3)，在每條所述的排放管路(2)上設(shè)置有排放氣動(dòng)開關(guān)閥(4)，系統(tǒng) 還包括輸出開關(guān)信號(hào)的控制裝置(5)、由所述控制裝置(5)控制的供液電 磁閥(6)和由所述控制裝置(5)控制的排放電磁閥(7)，所述供液電磁閥 (6)連接各個(gè)所述的供液氣動(dòng)開關(guān)閥(3)，所述排放電磁閥(7)連接各個(gè) 所述的排放氣動(dòng)開關(guān)閥(4)，系統(tǒng)還包括多條廢液收集槽(8)，每條所述的 廢液收集槽(8)將一組相互對(duì)應(yīng)的供液管路(1)和排放管路(2)連通， 或者，每條所述的廢液收集槽(8)將多組相互對(duì)應(yīng)的供液管路(1)和排放 管路(2)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，其特征在于： 在所述控制裝置(5)和所述排放電磁閥(7)之間設(shè)置有延時(shí)器(9)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，其特征在于： 在所述控制裝置(5)向所述供液電磁閥(6)和所述排放電磁閥(7)發(fā)出 關(guān)閉信號(hào)后，所述延時(shí)器(9)將所述關(guān)閉信號(hào)延時(shí)3～10s后傳遞給所述排 放電磁閥(7)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3任一所述的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，其特征在 于：各組相互對(duì)應(yīng)的供液管路(1)和排放管路(2)分別進(jìn)行不同種類清洗 液的清洗。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一所述的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，其特 征在于：當(dāng)某條所述的廢液收集槽(8)將多組相互對(duì)應(yīng)的供液管路(1)和 排放管路(2)連通時(shí)，所述控制裝置(5)在控制一組相互對(duì)應(yīng)的供液管路 (1)和排放管路(2)工作完后，再控制另一組相互對(duì)應(yīng)的供液管路(1) 和排放管路(2)工作。
6.一種根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)的 應(yīng)用，其特征在于：用于單片晶圓清洗設(shè)備廢水的排放。
說明書
一種晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)及其應(yīng)用
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及工業(yè)廢液的分類排放技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓清洗設(shè)備 廢水的排放系統(tǒng)及其應(yīng)用。
背景技術(shù)
在WET單片晶圓清洗過程中，會(huì)用到多種化學(xué)品，并產(chǎn)生相應(yīng)的清洗 廢液。多種廢液目前一般采用混合排放，或者在硬件設(shè)計(jì)上，對(duì)廢液做簡(jiǎn)單 的酸堿排放分類，然后直接排放。這種排放方式會(huì)影響廠務(wù)廢液處理的難度 和成本，以及降低可回收化學(xué)品和水的品質(zhì)和回收量。對(duì)廢液的分類排放或 回收能夠有效的降低成本和利于環(huán)保。
目前，在單片清洗制程中，最常用的制程為PRS和RCA，會(huì)有SC1， SC2，SPM、HF、IPA和DI等多種廢液排放。當(dāng)前的對(duì)廢液排放分類不足， 或者沒有分類，造成廠務(wù)廢液處理的困難和成本增加。
以RCAchamber為例，會(huì)用到SC1(NH4OH、H2O2、H2O混合物)，SC2 (HCl、H2O2、H2O混合物)，HF、IPA和DI。一般使用硬件切換對(duì)IPA和 其他化學(xué)品分類排放。但由于硬件設(shè)計(jì)的空間，成本，控制可行度等限制， 很難對(duì)所有化學(xué)品全部做分類處理。
發(fā)明內(nèi)容
為解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系 統(tǒng)及其應(yīng)用。
一種晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，系統(tǒng)包括多組提供清洗液的供液管 路和與每組所述的供液管路對(duì)應(yīng)的排放清洗廢液的排放管路，在每條所述的 供液管路上設(shè)置有供液氣動(dòng)開關(guān)閥，在每條所述的排放管上設(shè)置有排放氣動(dòng) 開關(guān)閥，系統(tǒng)還包括輸出開關(guān)信號(hào)的控制裝置、由所述控制裝置控制的供液 電磁閥和由所述控制裝置控制的排放電磁閥，所述供液電磁閥連接各個(gè)所述 的供液氣動(dòng)開關(guān)閥，所述排放電磁閥連接各個(gè)所述的排放氣動(dòng)開關(guān)閥，系統(tǒng) 還包括多條廢液收集槽，每條所述的廢液收集槽將一組相互對(duì)應(yīng)的供液管路 和排放管路連通，或者，每條所述的廢液收集槽將多組相互對(duì)應(yīng)的供液管路 和排放管路連通。
優(yōu)選的，在所述控制裝置和所述排放電磁閥之間設(shè)置有延時(shí)器。
延時(shí)器可以通過供應(yīng)開關(guān)的信號(hào)，延遲后來控制廢液的排放開關(guān)。延時(shí) 器的時(shí)間設(shè)定由具體管路長(zhǎng)度決定。
優(yōu)選的，在所述控制裝置向所述供液電磁閥和所述排放電磁閥發(fā)出關(guān)閉 信號(hào)后，所述延時(shí)器將所述關(guān)閉信號(hào)延時(shí)3～10s后傳遞給所述排放電磁閥。
優(yōu)選的，各組相互對(duì)應(yīng)的供液管路和排放管路分別進(jìn)行不同種類清洗液 的清洗。
優(yōu)選的，當(dāng)某條所述的廢液收集槽將多組相互對(duì)應(yīng)的供液管路和排放管 路連通時(shí)，所述控制裝置在控制一組相互對(duì)應(yīng)的供液管路和排放管路工作完 后，再控制另一組相互對(duì)應(yīng)的供液管路和排放管路工作。
本發(fā)明還提供了一種所述的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)的應(yīng)用，用于 單片晶圓清洗設(shè)備廢水的排放。
有益效果
通過本發(fā)明所提供的晶圓清洗設(shè)備廢水的排放系統(tǒng)，可以對(duì)廢液的排放 進(jìn)行切換，達(dá)到廢液的分類排放效果，降低廢液排放和回收的處理成本，提 高回收化學(xué)品的品質(zhì)和回收量，并有利于環(huán)保。
